高功率超高真空馈通-MT150-13SS5K-4-C16，CF16法兰上焊接1个4针高功率馈通。

MS型高功率超高真空馈通-MT152-MS24NI700-4-C16，CF16法兰上焊接1个MS型高功率馈通。

高功率超高真空馈通-MT150-13CU5K-C16-2，CF16法兰上焊接2个高功率馈通。

超高真空馈通-MT153-P240CU14K-C40。在CF40法兰上焊接一个高功率馈通。